INFICON SKY CDG100D -manometrit ovat paras valinta tarkkaan kokonaispaineen mittaamiseen ja säätämiseen. CDG100D-mittarit on lämpötilasäädetty 100 °C:seen, jotta ne tarjoavat paremman suorituskyvyn vaativissa puolijohde- ja plasmaprosesseissa. Ne ovat saatavilla täydellä mittausalueella 100 mTorr:sta 1000 Torr:iin kaikilla yleisillä flanssityypeillä ja kenttäbusliitännöillä, ja ne tarjoavat lineaarisen, kaasutyypistä riippumattoman paineen signaalin 0–10 V. INFICONin kapasiteettimanometrit käyttävät ultrapuhtaita, korroosionkestäviä alumiinioksidista valmistettuja keramiikkakalvoja. Keramisten antureiden etuja ovat parempi signaalivakaus, nopeampi palautuminen ilmakehän paineeseen, lyhyt lämmitysaika ja poikkeuksellisen pitkä käyttöikä. INFICON CDG:t ovat korkealaatuisia, kustannustehokkaita paineantureita vaativiin puolijohde-, plasma- ja tyhjökäyttöihin.
Palvelut
INFICON SKY CDG025D-Kapasiteettimembraanimittarit ovat erittäin tarkkoja lämpötilakorjattuja manometrejä, jotka tarjoavat vakaata suorituskykyä vaativissa prosessiympäristöissä. Edistynyt digitaalinen elektroniikka parantaa mittarin suorituskykyä ja sisältää ominaisuuksia, kuten nollatoiminto painikkeella ja asetettavan tavoitearvon säätö. Korroosionkestävä ultrapuhtaan keraamisen anturin ansiosta saavutetaan erinomainen nollastabiilisuus, ja sen käyttöikä on useita miljoonia painejaksoja, mukaan lukien ilmakehän paineen romahdukset. Patentoitu ainutlaatuinen anturisuojakilpi suojaa mittaria prosessisaasteilta. Vankka mekaaninen rakenne ja digitaalinen elektroniikka parantavat EMC-yhteensopivuutta, pitkäaikaista vakautta ja lämpötilakorjausta. CDG025D-kapasiteettimembraanimittari asettaa uusia standardeja nopealle vakaudelle käynnistyksen jälkeen ja nopealle palautumiselle ilmakehän paineen altistumisen jälkeen.
Ominaisuudet
INFICON SKY CDG100D -manometrit ovat paras valinta tarkkaan kokonaispaineen mittaamiseen ja säätämiseen. CDG100D-mittarit on lämpötilasäädetty 100 °C:seen paremman suorituskyvyn saavuttamiseksi vaativissa puolijohde- ja plasmaprosesseissa. Ne ovat saatavilla täydellä mittausalueella 100 mTorr:sta 1000 Torr:iin kaikilla yleisillä flanssityypeillä ja kenttäbusseilla, ja ne tarjoavat lineaarisen, kaasutyypistä riippumattoman paineen signaalin 0–10 V. INFICONin kapasiteettimanometrit käyttävät ultrapuhtaita, korroosionkestäviä alumiinioksidikeramiikkamembraaneja. Keramisten antureiden etuja ovat parempi signaalivakaus, nopeampi palautuminen ilmapaineeseen, lyhyt lämmitysaika ja poikkeuksellisen pitkä käyttöikä. INFICON CDG:t ovat korkealaatuisia, kustannustehokkaita paineantureita vaativiin puolijohde-, plasma- ja tyhjökäyttöihin.
Palvelut
INFICONin Edge™-kapasiteettimembraanimittari tarjoaa erittäin tarkkoja tyhjiömittauksia vaativissa valmistusympäristöissä. Todistetusti lämpötilasäädelty, korroosionkestävä ja ultra-puhdas keraaminen anturi tarjoaa erinomaisen mittausalueen vakauden vuosien ajan sekä huipputason nollapistevakauden. Edge-mittari toimitetaan INFICONin patentoidun anturisuojan kanssa, joka suojaa laitetta ei-toivotuilta prosessijäämiltä. Moderni elektroniikka mahdollistaa laajasti konfiguroitavan signaalin käsittelyn kaikille sovelluksille sekä valinnaisen EtherCAT™-kenttäbus-liitännän. Innovatiivinen lämmityskonsepti mahdollistaa ulkopinnan koskettamisen ja säästää arvokasta työkalutilaa. INFICON Edge on pienin tyhjiömittari laatuaan.
Ominaisuudet
• Kompakti, säästää arvokasta työkalutilaa
• Helppo integrointi, EtherCAT, useita mittausalueita ja flangeja, vakiona kahdella asetusarvolla
INFICON SKY CDG200D-korkealämpötilapainemittarit ovat paras valinta tarkkaan kokonaispaineen mittaamiseen ja säätämiseen. CDG200D-mittarit on lämpötilasäädetty 200 °C:seen paremman suorituskyvyn saavuttamiseksi vaativissa puolijohde- ja plasmaprosesseissa. Ne ovat saatavilla täydellä mittausalueella 1 Torr - 1000 Torr kaikilla yleisillä flanssityypeillä ja kenttäbusliitännöillä, ja ne tarjoavat lineaarisen, kaasutyypistä riippumattoman paineen signaalin 0–10 V. INFICONin kapasitiiviset painemittarit käyttävät ultrapuhtaita, korroosionkestäviä alumiinioksidista valmistettuja keraamisia kalvoja. Keraamisten antureiden etuja ovat parempi signaalivakaus, nopeampi palautuminen ilmapaineeseen, lyhyt lämmitysaika ja poikkeuksellisen pitkä käyttöikä. INFICONin CDG:t ovat korkealaatuisia, kustannustehokkaita paineantureita vaativiin puolijohde-, plasma- ja tyhjökäyttöihin.
Ominaisuudet
INFICONin Stripe™-nopeuskapasiteettimembraanimittarit ovat markkinoiden nopeimpia tarkkuusvakuumimittareita. Alle 2 ms:n vasteajoilla avautuu täysin uusia sovellusmahdollisuuksia EtherCAT-kenttäbus-liitännän myötä. Todistetusti lämpötilasäädelty, korroosionkestävä ja ultra-puhdas keraaminen anturi tarjoaa erinomaisen mittausalueen vakauden vuosien ajan sekä huipputason nollapistevakauden. Stripe-mittari toimitetaan INFICONin patentoidun anturisuojan kanssa, joka suojaa laitetta ei-toivotuilta prosessijäämiltä. INFICON Stripe hyödyntää innovatiivista lämmityskonseptia, joka takaa kosketeltavan ulkopinnan. Korkea nopeus mahdollistaa ennennäkemättömän tuottavuuden kasvun, mikä tekee siitä edistyneimmän vakuumilaitteen tyyppinsä joukossa.
Palvelut
• Korkea tuottavuus – Vasteaika alle 2 ms
• Joustava integrointi – EtherCAT-kenttäbus
INFICONin Edge™-kapasiteettimembraanimittari tarjoaa erittäin tarkkoja tyhjömittauksia vaativissa valmistusympäristöissä. Todistetusti lämpötilasäädelty, korroosionkestävä ja ultrapuhtaan keraamisen anturin ansiosta mittausalueen vakaus on erinomainen vuosien ajan, ja se tarjoaa huipputason nollapistevakauden. Edge-mittari toimitetaan INFICONin patentoidun anturisuojan kanssa, joka suojaa laitetta ei-toivotuilta prosessijäämiltä. Moderni elektroniikka mahdollistaa laajan valikoiman konfiguroitavaa signaalin käsittelyä kaikille sovelluksille sekä valinnaisen EtherCAT™-kenttäbus-liitännän. Innovatiivinen lämmityskonsepti mahdollistaa ulkopinnan koskettamisen ja säästää arvokasta työkalutilaa. INFICON Edge on pienin laatuaan oleva tyhjömittari.
Ominaisuudet
• Kompakti, säästää arvokasta työkalutilaa
• Helppo integrointi, EtherCAT, useita mittausalueita ja flangeja, vakiona kahdella asetusarvolla
INFICON SKY CDG160D-korkealämpötilapainemittarit ovat paras valinta tarkkaan kokonaispaineen mittaamiseen ja säätämiseen. CDG160D-mittarit on säädetty 160 °C:seen paremman suorituskyvyn saavuttamiseksi vaativissa puolijohde- ja plasmaprosesseissa. Ne ovat saatavilla täydellä mittausalueella 1 Torr - 1000 Torr kaikilla yleisillä flangeilla ja kenttäbusliitännöillä, ja ne tarjoavat lineaarisen, kaasutyypistä riippumattoman paineen signaalin 0–10 V. INFICONin kapasiteettipainemittarit käyttävät ultrapuhtaita, korroosionkestäviä alumiinioksidikeramiikkamembraaneja. Keramisten antureiden etuja ovat parempi signaalivakaus, nopeampi palautuminen ilmapaineeseen, lyhyt lämmitysaika ja poikkeuksellisen pitkä käyttöikä. INFICON CDG:t ovat korkealaatuisia, kustannustehokkaita paineantureita vaativiin puolijohde-, plasma- ja tyhjökäyttöihin.
Palvelut
INFICON SKY CDG160D-korkealämpötilapainemittarit ovat paras valinta tarkkaan kokonaispaineen mittaamiseen ja säätämiseen. CDG160D-mittarit on säädetty 160 °C:seen paremman suorituskyvyn saavuttamiseksi vaativissa puolijohde- ja plasmaprosesseissa. Ne ovat saatavilla täydellä mittausalueella 1 Torr - 1000 Torr kaikilla yleisillä flangeilla ja kenttäbusseilla, ja ne tarjoavat lineaarisen, kaasutyypistä riippumattoman paineen signaalin 0–10 V. INFICONin kapasitiiviset painemittarit käyttävät ultrapuhtaita, korroosionkestäviä alumiinioksidista valmistettuja keraamisia kalvoja. Keraamisten antureiden etuja ovat parempi signaalivakaus, nopeampi palautuminen ilmapaineeseen, lyhyt lämmitysaika ja poikkeuksellisen pitkä käyttöikä. INFICON CDG:t ovat laadukkaita, kustannustehokkaita paineantureita vaativiin puolijohde-, plasma- ja tyhjökäyttöihin.
Palvelut
INFICON Edge™ -kapasiteettimembraanivakuummittari tarjoaa erittäin tarkkoja vakuummittauksia vaativissa valmistusympäristöissä. Todistetusti lämpötilasääteinen, korroosionkestävä ja ultra-puhdas keraaminen anturi tarjoaa erinomaisen mittausalueen vakauden vuosien ajan sekä huipputason nollapistevakauden. Edge-mittari toimitetaan INFICONin patentoidun anturisuojan kanssa, joka suojaa laitetta ei-toivotuilta prosessijäämiltä. Moderni elektroniikka mahdollistaa laajasti konfiguroitavan signaalikonditionoinnin kaikille sovelluksille sekä valinnaisen EtherCAT™-kenttäbus-liitännän. Innovatiivinen lämmityskonsepti mahdollistaa ulkopinnan koskettamisen ja säästää arvokasta työkalutilaa. INFICON Edge on pienin vakuummittari laatuaan.
Ominaisuudet
• Helppo integrointi, EtherCAT, laaja valikoima mittausalueita ja flangeja, vakiona kaksi kytkentäpistettä
INFICON SKY CDG025D-Kapasiteettimembraanimittarit ovat erittäin tarkkoja lämpötilakorjattuja manometrejä, jotka tarjoavat vakaata suorituskykyä vaativissa prosessiympäristöissä. Kehittynyt digitaalinen elektroniikka parantaa mittarin suorituskykyä ja sisältää ominaisuuksia, kuten nollatoiminto painikkeella ja tavoitearvon säätö. Korroosionkestävä ultrapuhtaan keraamisen anturin tarjoaa erinomaisen nollastabiilisuuden useiden miljoonien painejaksojen pitkällä käyttöiällä, mukaan lukien ilmakehän paineen romahdukset. Patentoitu ainutlaatuinen anturisuojus suojaa mittaria prosessisaasteilta. Kestävä mekaaninen rakenne ja digitaalinen elektroniikka parantavat EMC-yhteensopivuutta, pitkäaikaista vakautta ja lämpötilakorjausta. CDG025D-kapasiteettimembraanimittari asettaa uusia standardeja nopealle vakaudelle käynnistyksen jälkeen ja nopealle palautumiselle ilmakehän paineen altistumisen jälkeen.
Ominaisuudet